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百级烘箱用途及特点

发布日期：2018-04-13

百级烘箱中桶材料：采用进口SUS304#镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。
     百级烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
一．百级烘箱用途:
     百级烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。 
二．百级烘箱特点：
   1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100
   2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
   3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
   4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到很好温度控制精度。